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株式会社テムテック研究所

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「お客様のあったらいいな」をカタチにする、あなたの会社の開発室当社は、半導体産業の創成期から半導体装置用のセンサー開発を行っています。現在も「あなたの会社の開発室」をモットーに、各種センサー(圧力、流量、温度、重量)の開発製造を受託しています。

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半導体製造装置用高精度圧力センサー「HYZシリーズ」

半導体製造設備の圧力センサーの製造・開発として、当社ではダイヤフラム部では耐腐食性の高いハステロイを採用しました。センサー内部にマイコンを搭載して、圧力と温度を補正することで高精度を実現しました。その他、腐食性流体に対する圧力センサー、配管内の温度を計測する温度センサーも製造・開発・販売を行っています。

2019.02.28

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