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株式会社オメガトロン

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生産技術、新素材、IoT、ロボット イオンビームフィギュアリング加工機

イオンビームフィギュアリングで0.1nmRMSの平滑度を!

製品長所
イオンビーム径を刃物サイズに例えればφ0.5からφ20mm程度のイオンガンを使い、加工対象の材質、サイズからXYテーブル、真空チャンバーを設計します。ワークが誘電体ならニュートラライザーを追加します。ビームプロファイルモニターで加工前に計測することで、出来上がりを事前に予想できます。
想定される
用途、業種・業態
EUV露光装置のミラーの精度は0.1nmRMSの平滑度が求められ、イオンビームフィギュアリングにより実現しています。大阪大学のX線ミラー加工にも弊社のイオンガンがつかわれており、超高精度の光学部品を作るには必須のものとなりつつあります。大手企業で使われているこの最新技術を是非多くの方にも使って頂きたいと存じます。

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  • 製品情報 1

    小型電子ビーム溶接機

    ちょうどEビームw

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