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コムス株式会社

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業界最高水準位置決め精度の3軸ロボットを始め、耐荷重・高速・高精度・回転等のステージをご用意しております。駆動方式・ストローク量など豊富なバリエーションをリーズナブルな価格にて提供。仕様に合わせてカスタムオーダー対応いたします。また、非接触で表面形状を高精度に測定できる3次元形状測定システムやウエハ厚み測定など多様なシステムもご提供いたしております。

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高精度計測システムの製造で培った技術で開発

「弊社は1998年の創業以来、高精度自動ステージや計測制御システムの開発を手掛けています。卓上型3軸ロボットは±2μmの再現性を実現しました。加工用途はもちろん、マイクロスコープなどを取りつけて計測器と組み合わせた使い方も可能になっています。そして弊社の製品はカタログ値ではなく実測値で成績表をつけて納品しています。現在は大学や官公庁などでご利用いただく機会が多いですが、本製品は加工現場でもお使いいただけるものになっています」 (営業部マネージャー/石原和仁)

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