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株式会社SAT

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 電子デバイスやモジュールの生産に不可欠な薄膜の製造装置及びそれらを組込んだ製造システムを行っています。古い概念である塗布技術に、最新の微小流体制御技術とメカトロニクス技術を導入し、これらを融合した高精度で独創的な装置を大手メーカを中心に提供し、製品の生産性向上に寄与しています。

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    微小流体制御方式による高精度スリットコータ及び搭載システム

    (1)標準型枚葉式スリットコータ  塗布ヘッド内の圧力検知による当社独自の微小流量制御方式により、非定常塗布領域も含め±3%以内の膜厚ばら...

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