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株式会社パンソリューションテクノロジーズ

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生産技術、新素材、IoT、ロボット シリコンウェハー有効キャリア測定装置 VWECER-100-S

短い測定時間、明確な測定結果。 「VWECER-100-S」は、半導体ウェハーの品質を短時間の測定で単一のパラメータにより明確に評価することができます。

測定時間:約1分/枚
測定方式:プローブ接触式
試料サイズ:直径2インチ~10インチ厚さ0.2~10mm(オプションにより変更可能)
測定対象:p/n型 単結晶・多結晶

製品長所
当社独自技術【HS-CMR法(High speed - Current Modulating Resistivity method)】は、四探針プローブによって印加電流を可変させながら抵抗率を測定し、測定値を独自アルゴリズムにより解析する事で、基板表面だけでなく内部の品質も高精度に測定することが可能です。また、1分程度の測定時間でウェハー全体を評価できます。アズスライスウェハーやラッピング後のウェハーを短時間・高精度で測定する事で、開発効率や不良率の改善に役立てることができます。
納入実績
太陽電池用シリコンインゴット・ウェハーメーカー及びセルメーカーの入出荷検査及びエッチング後ウェハーの検査
想定される
用途、業種・業態
半導体用シリコンインゴット・ウェハーメーカー及び半導体デバイスメーカーの入出荷検査及びラッピング後ウェハーの検査

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