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株式会社リンテック

生産技術、新素材、IoT、ロボット

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法人番号:3160001003470

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生産技術、新素材、IoT、ロボット 液体マスフローコントローラ

様々な液体の精密な流量制御に最適

精度±1.0% F.S.、応答速度3secなど、高精度の流量精度を実現しながら、安価なモデルのマスフローコントローラです。
使用可能な液体についてはお問合せ下さい。

F.S.流量:0.1g/min~20g/min F.S.(C2H5OH換算)
制御範囲:5~100% F.S.
流量精度:±1.0% F.S.
再現性:±0.5% F.S.

製品長所
主に半導体製造工程で使用されるほどの高精度、高清浄を誇る製品ラインナップであり、お客様のご要望に合った最適な製品をご提案します。
納入実績
半導体製造工程
液晶製造工程
太陽電池製造工程
想定される
用途、業種・業態
半導体製造工程
液晶製造工程
太陽電池製造工程
各種表面処理(コーティング)
各種分析機器への搭載

株式会社リンテック | その他の製品・技術・サービスのご案内

  • 製品情報 1

    マスフローコントローラ

    当社独自の特許技術である周囲温度補償方式流量センサにより、長期安定性に優れた製品をご提供します。

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    生産技術、新素材、IoT、ロボット

  • 製品情報 3

    ガス加熱器

    当社独自の高効率液体気化技術を応用した小型ヒータユニット

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